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产品名称:四甲基氢氧化铵溶液
英文名称:Tetramethylammonium hydroxide
CAS编号:75-59-2
英文别名:N,N,N-TRIMETHYLMETHANAMINIUM HYDROXIDE;TETRAMETHYLAMMONIUM HYDROXIDE;TMAH;hydroxydedetetramethylammonium;megapositcd14;Methanaminium,N,N,N-trimethyl-,hydroxide;n,n,n-trimethyl-methanaminiuhydroxide;nmd3
四甲基氢氧化铵溶液
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基本信息
分子式:
C4H13NO
分子量:
91.15
理化性质
安全信息
产品用途和参考文献
中文名称:四甲基氢氧化铵
CAS号:75-59-2
中文别名:四甲基氢氧化铵水溶液;四甲基氢氧化铵甲醇溶液;四甲基氫氧胺 (顯影液);氫氧化四甲銨;四甲基氢氧化铵;四甲基氢氧化铵, 25% W/W AQ. SOLN., ELECTRONIC GRADE, 99.99;四甲基氢氧化铵, 25% W/W IN METHANOL;氢氧化四甲基胺,1.0M水溶液,ACS
英文名称:Tetramethylammonium hydroxide
英文别名:N,N,N-TRIMETHYLMETHANAMINIUM HYDROXIDE;TETRAMETHYLAMMONIUM HYDROXIDE;TMAH;hydroxydedetetramethylammonium;megapositcd14;Methanaminium,N,N,N-trimethyl-,hydroxide;n,n,n-trimethyl-methanaminiuhydroxide;nmd3
EINECS:200-882-9
分子式:C4H13NO
分子量:91.15

 

属性

折光率 1.3806
沸点 100°C
密度 1.0050

描述

别名 四甲基氢氧化铵25%溶液 ;显影液TMAH;
用途 在电子行业中,广泛用作硅晶片蚀刻剂、清洗剂、正胶显影剂等
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